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    電子裝備產業

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    依托半導體高端設備研制,通過半導體高端設備、真空技術兩個板塊,建立電子裝備的產業化經營格局
    •  磁控濺射鍍膜系統

    磁控濺射鍍膜系統

    磁控濺射鍍膜系統廣泛應用于消費電子、芯片制程、光伏等眾多領域,可制備金屬膜、絕緣薄膜、光學薄膜、磁性薄膜等等。


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    應用范圍:

    磁控濺射鍍膜系統廣泛應用于消費電子、芯片制程、光伏等眾多領域,可制備金屬膜、絕緣薄膜、光學薄膜、磁性薄膜等等。


    產品特點:

    ■  整機一體化設計,結構緊湊;

    ■  公司獨立開發的工藝控制系統,全自動化控制,輕松實現一鍵完成;

    ■  本品可多靶共焦濺射,適合研發及小批量生產。