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    電子裝備產業

    Products display

    依托半導體高端設備研制,通過半導體高端設備、真空技術兩個板塊,建立電子裝備的產業化經營格局
    •  ALD原子層沉積設備

    ALD原子層沉積設備

    ALD原子層沉積設備主要應用于集成電路、微電子、量子點、新能源等產業

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    應用范圍:

    ALD原子層沉積設備主要應用于集成電路、微電子、量子點、新能源等產業。


    產品特點:

    ■  采用全自動操作系統,操作簡單;

    ■  可控制膜層厚度,解決整體均勻性;

    ■  針對不規則樣品,同樣擁有很好的包裹性。