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    電子裝備產業

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    依托半導體高端設備研制,通過半導體高端設備、真空技術兩個板塊,建立電子裝備的產業化經營格局
    •  真空鍍碳爐

    真空鍍碳爐

    主要應用于對石英坩堝內壁鍍碳處理,能夠有效阻隔高溫溶體與石英坩堝的反應,有利于完整、高質量單晶體的生產。

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